ด้วย Nano Focus Probe พื้นผิวของชิ้นงานสามารถถูกจับภาพเป็นกลุ่มจุด 3D (3D Point Cloud) เพื่อประเมินขนาด รูปทรง ตำแหน่ง และความหยาบของโครงสร้างระดับไมโคร
ระบบลดแสงกระเจิงช่วยให้สามารถวัดภูมิประเทศแบบ 3D ได้อย่างแม่นยำ แม้กับพื้นผิวที่สะท้อนแสงสูง โดยมีค่าความคลาดเคลื่อนในการตรวจวัดในระดับต่ำกว่าไมโครเมตร